表面形状测量仪

B.主要技术指标：

1、测量原理： 触针法、电感传感器
2、测量范围：垂直20mm，水平100mm
3、测量精度：垂直0.3%，水平0.03%
4、垂直分辨力：0.25μm/4mm,1.25μm/20mm
5、水平分辨力：1μm
6、测量参数：垂直距离，水平距离，两直线夹角，圆弧半径，倒角宽度，圆心-端面、圆心-圆心、直线交点-直线交点、点-直线距离
7、水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500
8、垂直放大倍率：10，20，50，100，200，500，1000，2000
9、驱动速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s
10、返回速度：1.5mm/s
11、基准导轨的直线性：1μm/任意40mm
12、立柱结构：滚动丝杠升降系统，快慢速机动升降，自动对准零点
13、立柱垂直测量高度：240mm
14、工作底台：400×600mm大理石平台
15、传感器测杆长：150mm
16、测针长度：22mm
17、针尖角度：11°
18、针尖半径：25μm
19、测力：0.02-0.06N
20、传感器滑行角度：上升角≤77 °，下降角≤88°

C.仪器的组成：

1、基本配置：
● 立柱
● 驱动箱
● 传感器
● 电箱
● 微机、打印机
● 调斜工作台

2、可选附件（价格另议）
● 万向工作台
● 小平口钳
● 微调工作台
● 可根据用户要求设计专用测针
● 轮廓仪专用底台

D.仪器外形尺寸与重量

仪器净重..................................260kg
仪器毛重..................................360kg
仪器外形尺寸...............1610mm×500mm×640mm
包装外形尺寸.............1590mm×1150mm×1065mm